The HDS file format of INCHWORM data is described here, as of the last recorded revision September 28, 1995.
Note: All the metrology subsystems have not been included under the Motion HDS object yet. It will not be necessary to have all the metrology subsystem data under the same cell of the Motion HDS object; some cells will have solutions from different subsystems (done in different ways), that can be combined in the INCHWORM software.
Session Format <_char*> Format in the constrictor file FormatInch <_char*> Format in the inchworm file Date <_char*> Date in the constrictor file DateInch <_char*> Date the inchworm file was created SystemID <_char*> GenConfig NumLaserP2P <_integer> P2PLaunchPlate [NumLaserP2P] <_integer> P2PRetroPlate[NumLaserP2P] <_integer> MasterPlateID <_char*> NumPlate <_integer> Plate [NumPlate] NumCluster <_integer> PlateEmbedded <_integer> PlateID <_char*> PlateLoc [3] <_double> PlateLocErr [3] <_double> SidMetConfig [NumPlate] NumLaser <_integer> CountsPerWaveln <_integer> LaserWavelength <_double> SampleInterval <_integer> IFBox [NumLaser] <_integer> Channel [NumLaser] <_integer> Theta [NumLaser] <_integer> ThetaErr [NumLaser] <_integer> Phi [NumLaser] <_integer> PhiErr [NumLaser] <_integer> LaunchInfo [NumLaser] NumGlass <_integer> NumAirGap <_integer> Loc [3] <_double> LocErr [3] <_double> GlassThick [NumGlass] <_double> GlassThickErr [NumGlass] <_double> GlassCode [NumGlass] <_integer> 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